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來(lái)源: | 作者:恒邁光學(xué) | 發(fā)布時(shí)間: 2024-03-07 | 287 次瀏覽 | 分享到:



智領(lǐng)未來(lái)

科技改變生活

慕尼黑上海光博會(huì)

恒邁光學(xué)精密機(jī)械(杭州)有限公司

展位號(hào):W4.4530



2024年3月20日—3月22日  

上海新國(guó)際博覽中心

 




慕尼黑上海光博會(huì)于2024年3月20-22日在上海新國(guó)際博覽中心舉辦。展會(huì)將吸引來(lái)自汽車(chē)、工業(yè)、通訊電子、醫(yī)療電子、消費(fèi)電子、工業(yè)電子、新能源、軌道交通等應(yīng)用領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)觀眾前來(lái)參觀。不僅僅滿(mǎn)足于展示單一設(shè)備產(chǎn)品,而是為行業(yè)打造從材料、設(shè)備到應(yīng)用技術(shù)解決方案的橫跨產(chǎn)業(yè)上下游的專(zhuān)業(yè)展示平臺(tái),一站式、完整、高效地掌握智能制造與電子創(chuàng)新全產(chǎn)業(yè)鏈上的全球前沿技術(shù)與產(chǎn)品。








恒邁光學(xué)精密機(jī)械(杭州)有限公司是杭州光學(xué)精密機(jī)械研究所重點(diǎn)孵化的高科技創(chuàng)新型企業(yè)。公司專(zhuān)注于超精密光學(xué)加工裝備、半導(dǎo)體CMP拋光裝備以及精密檢測(cè)儀器的設(shè)計(jì)研制與開(kāi)發(fā),公司擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高動(dòng)態(tài)、高剛度和高效能的機(jī)床設(shè)計(jì)技術(shù)、加工過(guò)程“實(shí)時(shí)原位”檢測(cè)技術(shù)和基于“穩(wěn)、準(zhǔn)、精”的先進(jìn)光學(xué)測(cè)量技術(shù),加工設(shè)備與檢測(cè)儀器雙引擎驅(qū)動(dòng)、雙劍合璧。 屆時(shí),恒邁光學(xué)將以全新的面貌,歡迎大家光臨!





參展產(chǎn)品搶先看






 

臺(tái)式研拋一體機(jī)

基于工業(yè)機(jī)器人的小工具在元件表面高速旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)對(duì)平面、球面及非球面元件面形快速收斂。

利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性?huà)伖忸^,確保拋光過(guò)程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控,從而實(shí)現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工,配合全鏈路工藝、軟件,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。



化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

基于晶圓的拋光設(shè)備,利用柔性?huà)伖忸^承載晶圓在拋光墊上旋轉(zhuǎn)拋光。設(shè)備具有高度兼容性,可以通過(guò)修改RECIPE變更加壓壓力。可通過(guò)最多3種化學(xué)液的配合下實(shí)現(xiàn)化學(xué)機(jī)械拋光。



數(shù)字化應(yīng)力檢測(cè)儀

大口徑樣品全口徑自動(dòng)自動(dòng)測(cè)量,通過(guò)電腦處理,采用各種顏色顯示樣品通光面應(yīng)力分布狀態(tài);自動(dòng)以文件形式儲(chǔ)存測(cè)量結(jié)果、存儲(chǔ)時(shí)間、日期、方法、樣品名稱(chēng)、厚度、測(cè)量值、測(cè)量單位和結(jié)果圖像。



大口徑波長(zhǎng)移相激光干涉儀

采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測(cè)表面的三維形貌,測(cè)量精度高達(dá)0.06um甚至更高,廣泛用于大小口徑平面光學(xué)元件高精度檢測(cè)。



4英寸激光干涉儀

激光干涉儀采用相移技術(shù)準(zhǔn)確表征被測(cè)表面的三維形貌,測(cè)量精度高達(dá)0.06um甚至更高,廣泛用于平面光學(xué)元件高精度檢測(cè)。