基于工業(yè)機(jī)器人的小工具加工機(jī)床，利用小工具在元件表面高速旋動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實(shí)現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。