1 

最大檢測口徑

500mm×500mm×100mm

     2 

檢測靈敏度

≤10μm

     3 

檢測誤差

相對標稱值不大于10%

     4 

定位誤差

≤0.5mm

     5 

掃描重復定位精度

≤5μm

     6 

檢測速度

≤20分鐘（通光口徑430mm×430mm）

     7 

全口徑范圍內原位測量分辨率

優(yōu)于1μm

     8 

面照明下單次成像口徑

≥50mm×50mm

     9 

全口徑三維大視場面成像層析厚度

全口徑三維大視場面成像層析掃描，深度層析最小厚度達到1mm，且根據測量需要深度層析厚度在1mm~5mm范圍內可調