氣泡與包裹體檢測(cè)儀
氣泡與包裹體數(shù)字化檢測(cè)系統(tǒng)主要用于光學(xué)材料內(nèi)部氣泡與包裹體等缺陷的定位與定量檢測(cè)，可實(shí)現(xiàn)直徑不小于10μm氣泡與包裹體的數(shù)字化檢測(cè)與分析能力。
氣泡與包裹體數(shù)字化檢測(cè)系統(tǒng)主要用于光學(xué)材料內(nèi)部氣泡與包裹體等缺陷的定位與定量檢測(cè)，可實(shí)現(xiàn)直徑不小于10μm氣泡與包裹體的數(shù)字化檢測(cè)與分析能力。
優(yōu)勢(shì)：
1、檢測(cè)靈敏度高：不大于10μm的氣泡及包裹體；
2、全口徑范圍內(nèi)原位測(cè)量分辨率：優(yōu)于1μm；
3、檢測(cè)口徑大，可檢測(cè)元件尺寸不小于500mm×500mm×100mm；
設(shè)備主要規(guī)格參數(shù)
序號(hào) | 技術(shù)指標(biāo)名稱(chēng) | 技術(shù)指標(biāo)參數(shù) |
1 | 最大檢測(cè)口徑 | 500mm×500mm×100mm |
2 | 檢測(cè)靈敏度 | ≤10μm |
3 | 檢測(cè)誤差 | 相對(duì)標(biāo)稱(chēng)值不大于10% |
4 | 定位誤差 | ≤0.5mm |
5 | 掃描重復(fù)定位精度 | ≤5μm |
6 | 檢測(cè)速度 | ≤20分鐘（通光口徑430mm×430mm） |
7 | 全口徑范圍內(nèi)原位測(cè)量分辨率 | 優(yōu)于1μm |
8 | 面照明下單次成像口徑 | ≥50mm×50mm |
9 | 全口徑三維大視場(chǎng)面成像層析厚度 | 全口徑三維大視場(chǎng)面成像層析掃描，深度層析最小厚度達(dá)到1mm，且根據(jù)測(cè)量需要深度層析厚度在1mm~5mm范圍內(nèi)可調(diào) |
