優(yōu)勢

1、具有氣囊背壓功能，可兼容多區(qū)加壓拋光頭；

2、靈活RECIPE設定，高質量的SFQR和ESFQR;
3、可兼容6或8寸拋光頭，便捷更換式拋光盤；
4、 可使用摩擦力重點檢測或光學終點檢測功能；

5、3路獨立供液管路；

6、占地面積小；